보유기술명 극초단파 레이저 충격파를 이용한 반도체/디스플레이 기판의 오염 제거 기술 기술요약, 고객/시장, 지식재산권현황, 연구자, 첨부파일 연구자 김경한 첨부파일 다운로드 24.극초단파_레이저_충격파를_이용한_반도체디스플레이_기판의_오염_제거_기술.pdf (432.5 KB)
