84 |
특허 |
1020050030722 |
롤-투-롤 윤전인쇄방식을 이용한 전자소자의 제조방법 및 그 제조장치 |
20050413 |
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83 |
특허 |
1020050026118 |
레이저 가공용 자동초점장치 |
20050329 |
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82 |
특허 |
1020050021286 |
웨이퍼 연마기 |
20050315 |
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81 |
특허 |
1020050013832 |
탄소나노튜브 필름 및 그 제조 방법 |
20050219 |
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80 |
특허 |
1020050006853 |
양극성 정전분무식 복합응집 집진장치 |
20050125 |
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79 |
특허 |
1020040111621 |
콜로이드 자기조립에 의해서 제조된 다공성 마스크를 이용한 나노리소그래피 |
20041224 |
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78 |
특허 |
1020040112158 |
미세 임프린트 리소그래피 공정에서 스탬프와 기판의 이격고정 및 그 장치 |
20041224 |
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77 |
특허 |
1020040111331 |
자기베어링 주축의 고정밀 진동제어 방법 |
20041223 |
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76 |
특허 |
1020040109183 |
이송식 입자분산 공급장치 |
20041221 |
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75 |
특허 |
1020040093418 |
유압 피스톤 펌프.모터의 정압 베어링이 적용된 실린더 블록 |
20041116 |
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74 |
특허 |
1020040093200 |
콘형 자기베어링을 이용한 모터 내장형 주축의 변위오차제어방법 |
20041115 |
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73 |
특허 |
1020040091897 |
3차원 프린팅 조형 시스템 |
20041111 |
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72 |
특허 |
1020040090321 |
질소 가열 수단을 갖는 3차원 쾌속 조형 시스템 |
20041108 |
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71 |
특허 |
1020040088392 |
접촉식 반도체 리소그라피 장치용 웨이퍼 척 및 이것을 이용한 웨이퍼 압착방법 |
20041102 |
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70 |
특허 |
1020040087280 |
인덕티브 센서 및 제어방법 |
20041029 |
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69 |
특허 |
1020040078629 |
용융 배가스를 열분해로내로 투입하여 폐기물을 직접 가열하는 열분해장치 및 이를 이용한 열분해공정 |
20041004 |
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68 |
특허 |
1020040076590 |
LPG액상분사식 분사노즐 |
20040923 |
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67 |
특허 |
1020040072690 |
자기부상열차의 부상제어장치 및 방법 |
20040910 |
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66 |
특허 |
1020040067830 |
미케니컬 페이스 씰의 그루브패턴구조 |
20040827 |
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65 |
특허 |
1020040067456 |
탄성고무를 이용한 선박용 제진장치 및 제진장치용 탄성고무 제조방법 |
20040826 |
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