KIMM 최우수연구상
Award for
Best Research
2008년도 최우수 연구상
이재종
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직위
책임연구원
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부서
나노융합기계연구본부
- 메일
기술개발 내용 및 특징
UV 나노임프린트 장비 개발
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●UV 나노임프린트 장비 개발
-주요연구내용
*4인치용 웨이퍼레벨 sub-70mm급 UV 나노임프린트 장비 개발
*4인치 및 6인치용 웨이퍼레벨 sub-50mm급 Hybrid 나노임프린트 장비 기술이전 상용화 및 매출
*부산 MEMS/NANO Center 외 4.4억원
- 담당부서 인력개발실
- 연락처 042-868-7728