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KIMM 최우수연구상

Award for
Best Research
2008년도 최우수 연구상

이재종 이재종

기술개발 내용 및 특징

UV 나노임프린트 장비 개발

    ●UV 나노임프린트 장비 개발
    -주요연구내용
    *4인치용 웨이퍼레벨 sub-70mm급 UV 나노임프린트 장비 개발
    *4인치 및 6인치용 웨이퍼레벨 sub-50mm급 Hybrid 나노임프린트 장비 기술이전 상용화 및 매출
    *부산 MEMS/NANO Center 외 4.4억원

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