| 무탄소발전연구실 |
엄학용 |
- 가스터빈 연소 시험설비 구축 및 시운전 |
042-868-7951 |
| 무탄소발전연구실 |
이선영 |
|
042-868-7906 |
| 무탄소발전연구실 |
이원준 |
|
042-868-7218 |
| 무탄소발전연구실 |
지서현 |
|
042-868-7317 |
| 반도체장비연구센터 |
강우석 |
- 반도체장비연구센터장 |
042-868-7435 |
| 반도체장비연구센터 |
송준엽 |
- 반도체 패키징 공정/장비 기술
- 생산시스템 지능화, 통합/제어 기술 |
042-868-7144 |
| 반도체장비연구센터 |
한성흠 |
- 정밀 길이/3차원 좌표 측정 기술 개발
- 마이크로 LED 전사 공정 및 장비 개발
- 반도체/디스플레이 레이저 공정 및 장비 개발
- 펨토초 레이저 응용 기술 개발
- 광학 시스템 개발 |
042-868-7429 |
| 반도체장비연구센터 |
조성권 |
- 플라즈마 발생 장치 개발
- 플라즈마 화학 반응 연구 및 응용
- 플라즈마 후처리 기술 개발
- 플라즈마 응용 연료 개질 및 변환 기술 개발
- 플라즈마 응용 기술 개발 |
042-868-7485 |
| 반도체장비연구센터 |
김승만 |
- 광기반 정밀 측정
- 광기반 반도체/유연소자 패키징 공정 |
042-868-7034 |
| 반도체장비연구센터 |
허민 |
- 플라즈마 반응기 설계/해석/진단
- 반도체/디스플레이 플라즈마 응용
- 환경/에너지 플라즈마 응용 |
042-868-7634 |
| 반도체장비연구센터 |
이재학 |
- 반도체, 디스플레이, 유연소자 등의 패키징 공정 및 장비 기술 |
042-868-7362 |
| 반도체장비연구센터 |
이대훈 |
- 플라즈마 발생기술
- 플라즈마를 이용한 연료 처리 및 연료 개질기술
- 플라즈마 및 플라즈마 연소, 플라즈마 촉매 복합 공정을 통한 오염물질의 제거 및 처리
- 플라즈마 촉매 화학 공정 기술 |
042-868-7406 |
| 반도체장비연구센터 |
김대웅 |
- 반도체 제조공정용 플라즈마 소재-부품-장비-공정 개발 및 평가
- 반도체 플라즈마 소스 기술 개발 (RF ICP, CCP 등)
- 반도체 플라즈마 진단기술 및 공정진단 응용기술 개발 (광, 전기, 마이크로웨이브 등) |
042-868-7922 |
| 반도체장비연구센터 |
이희수 |
|
042-868-7027 |
| 반도체장비연구센터 |
송호현 |
|
042-868-7195 |
