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직원 목록 - 부서, 이름, 전문분야, 전화
부서 이름 전문분야 전화
무탄소발전연구실 민경욱 - 가스터빈 연소기 시험 설비 설계 및 운용, 고압 실험 설비 관리 042-868-7410
무탄소발전연구실 엄학용 - 가스터빈 연소 시험설비 구축 및 시운전 042-868-7951
무탄소발전연구실 이선영 042-868-7906
무탄소발전연구실 이원준 042-868-7218
무탄소발전연구실 지서현 042-868-7317
반도체장비연구센터 강우석 - 반도체장비연구센터장 042-868-7435
반도체장비연구센터 송영훈 - 대기압 플라즈마를 이용한 유해가스처리 기술, 여기서 유해가스란 저농도의 휘발성유기화합물, 악취, 질소산화물 등을 일컫고 있음.
- 대기압 플라즈마를 이용한 PFCS 및 HFCS와 같은 지구온난화가스의 처리
- 화석연료로부터 수소를 얻는 기술 및 이를 활용한 연소기술
- 디젤차 배기정화기술
042-868-7302
반도체장비연구센터 한성흠 - 정밀 길이/3차원 좌표 측정 기술 개발
- 마이크로 LED 전사 공정 및 장비 개발
- 반도체/디스플레이 레이저 공정 및 장비 개발
- 펨토초 레이저 응용 기술 개발
- 광학 시스템 개발
042-868-7429
반도체장비연구센터 조성권 - 플라즈마 발생 장치 개발
- 플라즈마 화학 반응 연구 및 응용
- 플라즈마 후처리 기술 개발
- 플라즈마 응용 연료 개질 및 변환 기술 개발
- 플라즈마 응용 기술 개발
042-868-7485
반도체장비연구센터 김승만 - 광기반 정밀 측정
- 광기반 반도체/유연소자 패키징 공정
042-868-7034
반도체장비연구센터 허민 - 플라즈마 반응기 설계/해석/진단
- 반도체/디스플레이 플라즈마 응용
- 환경/에너지 플라즈마 응용
042-868-7634
반도체장비연구센터 이재학 - 반도체, 디스플레이, 유연소자 등의 패키징 공정 및 장비 기술 042-868-7362
반도체장비연구센터 이대훈 - 플라즈마 발생기술
- 플라즈마를 이용한 연료 처리 및 연료 개질기술
- 플라즈마 및 플라즈마 연소, 플라즈마 촉매 복합 공정을 통한 오염물질의 제거 및 처리
- 플라즈마 촉매 화학 공정 기술
042-868-7406
반도체장비연구센터 송준엽 - 반도체 패키징 공정/장비 기술
- 생산시스템 지능화, 통합/제어 기술
042-868-7144
반도체장비연구센터 김대웅 - 반도체 제조공정용 플라즈마 소재-부품-장비-공정 개발 및 평가
- 반도체 플라즈마 소스 기술 개발 (RF ICP, CCP 등)
- 반도체 플라즈마 진단기술 및 공정진단 응용기술 개발 (광, 전기, 마이크로웨이브 등)
042-868-7922

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