| 반도체장비연구센터 |
김대웅 |
- 반도체 제조공정용 플라즈마 소재-부품-장비-공정 개발 및 평가
- 반도체 플라즈마 소스 기술 개발 (RF ICP, CCP 등)
- 반도체 플라즈마 진단기술 및 공정진단 응용기술 개발 (광, 전기, 마이크로웨이브 등) |
042-868-7922 |
| 반도체장비연구센터 |
정하경 |
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| 반도체장비연구센터 |
오승진 |
- 반도체 패키징 공정/장비 기술 개발
- 기계적(인장, 굽힘, 접합) 시험 평가
- 구조해석 시뮬레이션 |
042-868-7116 |
| 반도체장비연구센터 |
문현규 |
- 반도체 패키징 공정 및 장비 기술 개발
- 방열 설계
- CMP |
042-868-7133 |
| 반도체장비연구센터 |
최정안 |
- 플라즈마 응용기술 (열분해, 수소/암모니아 생산 및 활용)
- 플라즈마 연소
- 반응성 유동 레이저 계측 |
042-868-7193 |
| 반도체장비연구센터 |
김무영 |
- 계산과학 기반 반도체 가상공정 플랫폼 구축
- 2차원 반도체 소재 플라즈마 식각/증착
- 제일원리-분자동역학-키네틱몬테카를로-연속체 멀티스케일 시뮬레이션 |
042-868-7399 |
| 반도체장비연구센터 |
김태호 |
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042-868-7348 |
| 반도체장비연구센터 |
김형우 |
- 차세대 반도체 플라즈마 합성/식각/공정 머신러닝 |
042-868-7272 |
| 반도체장비연구센터 |
김유나 |
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042-868-7198 |
| 반도체장비연구센터 |
이희수 |
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042-868-7027 |
| 반도체장비연구센터 |
송호현 |
|
042-868-7195 |
| 반도체장비연구센터 |
강홍재 |
- 플라즈마 반응 시스템 개발 |
042-868-7174 |
| 반도체장비연구센터 |
정민호 |
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042-868-7989 |
| 반도체장비연구센터 |
지서현 |
|
042-868-7317 |
| 자원순환연구실 |
윤진한 |
- 폐자원에너지화 기술
- 석탄 순산소 연소기술
- 유해폐기물 처리기술
- 신재생에너지설비(소각로) 진단기술
- 순산소 연소장내 유해물질 제거기술 |
042-868-7528 |
